EDX-LE能量色散X射線分析是用于元素分析應用的兩種通用型X射線熒光技術之一。在EDXRF光譜儀中,樣品中的所有元素都被同時激發,而能量色散檢測儀與多通道分析儀相結合,用于同時收集從樣品發射的熒光輻射,然后區分來自各個樣品元素的特性輻射的不同能量。
X射線光學晶體可用于增強EDXRF儀器。對于常規XRF儀器,樣品表面典型焦斑尺寸的直徑范圍從幾百微米到幾毫米不等。多毛細管聚焦光學晶體從發散X射線源收集X射線,并將它們引導至樣品表面上形成直徑小到幾十微米的小聚焦光束。
EDX-LE能量色散X射線分析利用不同元素的X射線光子特征能量不同進行成分分析,由此增加的強度以小焦斑傳遞到樣品,可增強用于小特性分析的空間分辨率和用于微EDXRF應用的微量元素測量性能。
能量色散X射線光譜(EDX)通常借助電子顯微鏡使用對樣品實施微區成分分析,依據元素特征X射線的波長和強度,來檢測樣品中不同元素的相對含量和分布情況。
在電子與物質相互作用時,采用能聚焦的入射電子可以激發初級x射線,不同元素發射出來的特征x射線波長不同,能量也不同。利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析,所用設備通常稱為能量色散譜儀。
主要單元是半導體探測器及多道脈沖高度分析器,用以將特征x射線按能量展i}}Er7,5的分辨率遠不如波長色散譜儀,它有分析速度快的優點,和通用的x射線波長色散譜儀相比可提高10倍,如果進行物相鑒定,只需幾分鐘就可以得到被測物質的全部衍射花樣。