EDX-7000/8000能量色散X射線分析利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析,所用設備通常稱為能量色散譜儀。主要單元是半導體探測器及多道脈沖高度分析器,用以將特征x射線按能量展i}}Er7,5的分辨率遠不如波長色散譜儀,它有分析速度快的優點,和通用的x射線波長色散譜儀相比可提高10倍,如果進行物相鑒定,只需幾分鐘就可以得到被測物質的全部衍射花樣。
通過測定熒光X射線的能量實現對被測樣品的分析的方式稱之為能量色散X射線熒光分析,相應的儀器稱之為能譜儀,通過測定熒光X射線的波長實現對被測樣品分析的方式稱之為波長色散X射線熒光分析,相應的儀器稱之為X射線熒光光譜儀。
根據激發方式的不同,X射線熒光分析儀可分為源激發和管激發兩種:用放射性同位素源發出的X射線作為原級X射線的X熒光分析儀稱為源激發儀器;用X射線發生器(又稱X光管)產生原級X射線的X熒光分析儀稱為管激發儀器。
能量色散型又根據探測器的類型分為(Si-PIN)型和SDD型。在不同的應用條件下,這幾種類型的技術各有其突出的特點。目前,X射線熒光分析不僅材料科學、生命科學、環境科學等普遍采用的一種快速、準確而又經濟的多元素分析方法。
這也是X射線熒光光譜儀也是野外現場分析和過程控制分析等方面常用儀器之一。同時,成為地質、冶金、建材、石油化工、半導體工業和醫藥衛生等領域的重要分析手段。