EDX能量色散X射線分析作為一種快速分析手段，為我國的相關生產企業提供了一種可行的、低成本的、并且是及時的，檢測、篩選和控制有害元素含量的有效途徑；相對于其他分析方法，XRF具有無需對樣品進行特別的化學處理、快速、方便、測量成本低等明顯優勢，特別適合用于各類相關生產企業作為過程控制和檢測使用。

 

　　能量色散型儀器的優勢在于：可以對樣品不作特別復雜的處理而直接進行測量，對樣品也沒有任何損壞，適合直接用于生產的過程控制中，從熒光理論上，被測量樣品的預先處理是需要的，對于能量色散儀器來說，我們可以采取一些技術手段進行校正來滿足實際生產控制的需要，但即使采用了技術校正的手段，對不規則樣品的直接測量也是以犧牲測量準確度作為代價的。

 

　　EDX能量色散X射線分析具有較高的測量精度，但同時需要對被測量樣品進行簡單處理，更適用于進廠原材料、半成品、成品的準確檢測和質量控制；能量色散X熒光分析儀雖然測量精度稍差，但具有快速、直接測量各種形狀樣品的優點，因此可直接在生產線上用于各種部件、電子元器件的檢測。

 

　　專業的講使用濾光片的目的是消除或降低X射線管發射的原級X射線譜，尤其是靶材的特征X射線譜對待測元素的干擾，可改善峰背比，提高分析的靈敏度。

 

　　能量色散X射線熒光分析儀有兩種類型的濾光片：初級濾光片和次級濾光片。

 

　　1、初級濾光片是將濾光片置于光管和樣品間，其目的是為得到單色性更好的輻射和降低待分析元素譜感興趣區內的由原級譜散射引起的背景。

 

　　2、次級濾光片是將濾光片置于樣品和探測器之間，主要是對試樣中產生的多元素X射線熒光譜線進行能量選擇，提高待測元素的測量精度。